Award

  1. 電気学会 部門論文賞, Aug. 2020
    大西亘（東京大学）, 坂田晃一（ニコン）
    「冗長アクチュエータの自由度を活かした回転中心・重心点ハイブリッド駆動による精密位置決めステージの非干渉化制御法」, 電学論D, Vol. 139, No.5, pp. 480-487, 2019
  2. 電気学会 部門活動功労賞, Aug. 2016
    坂田晃一（ニコン）
    SAMCON2016実行委員会幹事としての貢献
  3. 電気学会 産業応用部門大会 優秀論文発表賞Ａ, Sep. 2011
    坂田晃一（ニコン）
    「ボールねじ駆動ステージにおける複数センサを用いた自己共振相殺制御」, 平成23年産業応用部門大会, 2–39, pp. 285–290, 2011
  4. 計測自動制御学会 制御部門研究奨励賞, Mar. 2011
    坂田晃一（横浜国立大学）
    「超精密ステージにおける複数センサを用いたフィードバック制御系の高帯域化」, 第39回制御理論シンポジウム, pp. 285–290, 2010
  5. 計測自動制御学会 学術奨励賞・技術奨励賞, Feb. 2011
    坂田晃一（横浜国立大学）
    「超精密ステージにおける複数センサを用いたフィードバック制御系の高帯域化」, 第39回制御理論シンポジウム, pp. 285–290, 2010
  6. 電気学会 産業応用部門大会 優秀論文発表賞 A賞, Sep. 2009
    坂田晃一（横浜国立大学）
    「超精密ステージの設計製作および超高速ナノスケール位置決めの実験的検証」, 平成20年電気学会産業応用部門大会, 2-81, Aug. 2008
  7. 電気学会 研究会 優秀論文発表賞 A賞, Mar. 2009
    坂田晃一（横浜国立大学）
    「ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証」, 産業計測制御研究会, IIC-08-44, pp. 51–56, 2008
  8. 電気学会 産業計測制御技術委員会 優秀論文発表賞, Dec. 2008
    坂田晃一（横浜国立大学）
    「ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証」, 産業計測制御研究会, IIC-08-44, pp. 51–56, 2008